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二维材料叠加系统

图1,二维材料叠加系统的基本构成



图2 主机的部件示意图
?1.上层样品控制部分;2‚下层样品控制部分;3.显微成像部分;4.光路部分



图3 控制器示意图


图4 软件界面


图4 真空泵示意图

  • 主要部件的功能说明
表1  设备部件功能说明
序号 部件名称 功能说明
1 上层样品控制部分 寻找上层样品并精确控制上层样品下降,叠加下层样品
2 下层样品控制部分 寻找旋转中心;寻找下层样品
3 显微成像部分 对上下层样品成像,确定位置
4 光路部分 加工样品
  • 使用方法
  1. 检查设备
  1. 打开LED灯,检查电源开关是否正常工作;
  2. 打开CCD软件,检查是否正常工作;
  3. 打开电控台开关,检查是否正常运行;
  4. 打开软件控制部分,测试是否正常工作;
  5. 检查螺丝等紧?#30899;?#26159;否该牢固,?#28304;?#21040;安全工作。
  1. 准备工作
  1. 放置上下层样品,观察其所在平面是否平行,若否,调试“角位移台”至平行;
  2. 聚焦下层样品平面,在电脑清晰成像,调节“电动转台”,观察旋转中心是否在成像范围内,若否,调节②中二维平移台直?#21015;?#36716;中心在成像范围内。
  1. 工作步骤
  1. 通过调节②中二维平移台寻找下层样品,调节①中平移台寻找上  层样品平面,然后寻找上层样品;
  2. 打开电控台以及软件,电控台上选择③中一维电动平移台对应地址并电控寻找下层样品,软件同时记?#21058;?#20301;置变化,及上下层样品间的距离L;
  3. 选择①电动平移台对应地址,调控电动平移台下降L,将两样品贴合。
  • 常见问题及解决方案
问题1:两个一维电动平移台?#32435;?#23450;相同的行程时,?#23548;饰?#31227;不同。
解决方案:重新安装电控台控制器或在‘平移台类型’选对应型号的类型。
问题2:电动平移台①运行了L距离,但仍上下层样品没有贴合。
解决方案:尝试一个微小的超过量,如果仍没有贴合,重新调节平行。

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